반도체 장비 : EFEM, Load port, Robot 및 Aligner
완전 자동화된 반도체 장비의 경우 웨이퍼 전송 자동화가 특히 중요하며, 웨이퍼 전송 자동화의 핵심 모듈인 EFEM, 로드 포트, 로봇, 얼라이너, 이 기사에서는 이러한 모듈을 자세히 소개하고, 이 기사는 더 길고, 먼저 수집하는 것이 좋으며, 필요한 경우 원본 PDF를 공유할 수도 있습니다. 목차:ᅡEFEM(디바이스 프런트 엔드 모듈).1. EFEM 소개2. EFEM의 구조와 기능(1) 미세환경 모듈(2) 자동화 기능 모듈(3) 소프트웨어 모듈 제2장웨이퍼 로딩 시스템(로드 포트).1. 로드 포트 구조 소개2. 로드 포트의 Foup ID를 읽는 방법3.로드 포트: 로드 포트에 Foup가 있는지 확인하는 방법(1) 물리적 접촉 감지(2) 광학 검출(3) 전기적 특성 시험(4) 무선 주파수 식별 제3장웨이퍼..
2025. 7. 11.
웨이퍼 로봇 Arm 정확도 연구 및 3D
웨이퍼 핸들링 로봇 암은 반도체 제조에서 웨이퍼 이송에 널리 사용됩니다! 웨이퍼, 기판 및 칩을 리소그래피, 에칭, 증착, 검사 및 테스트와 같은 반도체 제조의 여러 단계 간에 운송하는 데 사용할 수 있습니다. 이 디자인은 매우 깨끗한 환경에서 정밀도, 청결성 및 신뢰성을 강조합니다. 다음은 로봇 팔의 구조에 대한 소개와 기술 응용 프로그램에 대한 개요입니다.1. 주요 구조상 분대:로봇 암(매니퓰레이터), 웨이퍼 엔드 이펙터(그리퍼), 웨이퍼 정렬 테이블, Z축 메커니즘, 감지 및 피드백 시스템, 제어 시스템2. 주요 응용 프로그램: 웨이퍼 전송: FOUP 및 공정 도구(예: 얼라인너, CMP, 에칭 기계)와 함께 사용하여 웨이퍼의 정확한 위치를 파악하고 입자 생성 또는 웨이퍼 가장자리 손상을 방지할 ..
2025. 5. 16.
TEL - 2025년 3월기 4분기 결산설명회 Q&A
2025년 3월기 4분기 결산설명회 Q&AQ1: WFE*1 시장에 대해 중국 이외의 세계시장의 애플리케이션별 전망과 중국시장의 전망을 함께 알려주기 바란다. 또, 미국의 관세 조치의 발표에 따라, 고객의 투자 스탠스에 변화는 보이는가?A1 : CY2024는 중국 이외의 세계 시장이 전체의 55%로, 그 내역은 DRAM 17%, NAND 5%, 첨단 로직 20%, 기타 13%였다. 중국에 대해서는 전체의 45% 정도로, 그 중 70%가 논리였다고 보고 있다.CY2025는 DRAM 20%, NAND 10%, 첨단 로직 20%, 기타 15%, 중국에 대해서는 전체의 35% 정도로, 그 중 80%가 로직이라고 전망하고 있다. 중국 WFE 시장의 비율은 전체적으로 10포인트 정도, 작년보다 작아질 것으로 보고 있..
2025. 5. 8.
중국 대세 반도체 회사 - SiCARRIER (New Kailai - 新凯来) !!!
01 - 새로운 Kailai 제품 설명서 SEMICON China 2025에서 New Kailai는 EPI, RTP, ETCH, CVD, PVD, ALD, 광학 계측 및 검사, PX 계측 및 전력 감지를 포함한 확산, 에칭, 박막 및 계측 및 검사의 4가지 범주의 제품을 선보일 예정입니다 31개의 장치.새로운 Kailai 제품 설명서, 사진은 인터넷에서 가져온 것입니다. 02 - 장비 연구 및 개발 Xinkailai는 위와 같은 유형의 장비를 출시하는 것 외에도 장비 연구 및 개발에도 많은 노력을 기울였다고 밝혔다. Shenzhen Xinkailai Industrial Machinery Co., Ltd.의 공정 장비 제품 라인 사장인 Du Lijun은 "반도체 공정 장비의 도전과 기회"라는 제목의 연설을..
2025. 4. 3.
