AMEC: 에칭 + MOCVD 장비 !!!

AMEC: 2004년에 설립되어 2019년에 상장된 주요 사업은 고급 에칭 장비 및 범 반도체 장비의 R&D, 생산 및 판매이며, 주요 제품은 에칭 장비, MOCVD 장비, 박막 증착 장비 및 기타 장비이며, 다운스트림 애플리케이션에는 집적 회로 제조, LED 에피택셜 웨이퍼, 전력 장치 및 MEMS가 포함됩니다. 총 인원은 1722명입니다.

그림: AMEC의 AMEC 사업 구조

기술 수준: AMEC의 플라즈마 에칭 장비는 65nm에서 14nm, 7nm 및 5nm 및 기타 고급 집적 회로 처리 및 제조 생산 라인 및 고급 포장 생산 라인에서 국제 일선 고객에게 적용되었습니다. MOCVD 장비는 질화갈륨 기반 LED 장비의 세계 시장 점유율 80%를 차지하는 대규모 양산에 투입되었습니다. 지난 20년 동안 AMEC는 15가지 유형의 플라즈마 에칭 장비를 개발했습니다.

제품 구조(2023): 에칭 장비 매출 47억 위안; MOCVD 매출은 4억 6,000만 위안, 예비 부품 매출은 9억 7,000만 위안, 기타 매출은 1억 3,000만 위안이었다.

그림: AMEC의 제품 라인, AMEC

그림: AMEC의 AMEC 수익 구조

웨이퍼 제조 장비는 에칭, 박막 증착, 리소그래피, 검출, 이온 도핑 및 기타 범주로 나눌 수 있으며, 그 중 에칭 장비, 박막 증착 및 리소그래피 장비는 집적 회로의 프런트 엔드 생산 공정에서 가장 중요한 세 가지 유형의 장비입니다. 수년에 걸친 Gartner 통계에 따르면 에칭 장비와 박막 증착 장비는 각각 웨이퍼 제조 장비 가치의 약 22%와 23%를 차지합니다.

플라즈마 에칭 장비는 리소그래피 기계 외에 가장 중요한 미세 가공 장비로 공정 단계가 가장 많고 공정 개발이 가장 어려운 장비입니다. 미세한 소자의 지속적인 축소는 소자 구조와 가공 공정에 혁신적인 변화를 가져왔습니다.

메모리 장치의 내부 아키텍처가 2D에서 3D로 전환됨에 따라 플라즈마 에칭 및 박막 제조가 가장 중요한 단계가 되었으며 이 두 가지 유형의 장비에 대한 수요가 크게 증가했습니다. 파장의 제한으로 인해 리소그래피 기계의 고급 미세 구조는 플라즈마 에칭과 박막 "이중 템플릿" 및 "4배 템플릿" 공정 기술의 조합에 따라 달라지며 에칭 기계 및 박막 장비의 중요성은 계속 증가하고 있습니다.

AMEC의 제품 라인:

1. 에칭 장비

에칭 장비 제품에는 용량성 플라즈마 에칭 장비(CCP), 유도 플라즈마 에칭 장비(ICP) 및 딥 실리콘 에칭 장비가 포함됩니다.

그림: AMEC의 에칭 제품 라인, AMEC

(1) 용량성 플라즈마 에칭 장비(CCP): 용량성 결합 플라즈마, 집적 회로 제조에서 산화규소, 질화규소 및 저유전계수 필름과 같은 유전체 재료를 에칭하는 데 사용됩니다. CCP 에칭 장비에는 3개의 이중 반응기 시스템과 6개의 단일 반응기 시스템이 있으며, 5nm 이하 웨이퍼 생산 라인에 진입하여 2D 및 3D 메모리 생산 라인에 진입했으며, 온라인 생산을 위한 2800+ 반응기 테이블, 5nm 이하 생산 라인에 270+ 반응기 테이블을 입력합니다.

그림: AMEC의 CCP 장비 누적 설치

AMEC의 에칭 제품은 28nm 이상의 대부분의 CCP 에칭 응용 분야와 28nm 이상의 대부분의 CCP 에칭 응용 분야에 대해 비교적 포괄적인 적용 범위를 형성했습니다. 28nm 이하의 로직 소자 생산에 널리 사용되는 통합 다마스커스 에칭 공정에 비추어 전극 간격을 조정할 수 있는 CCP 에칭 기계 Primo SD-RIE는 현장 검증을 위해 중국의 주요 로직 칩 제조 고객사에 진입했습니다.

그림: AMEC의 CCP 에칭 제품 라인, AMEC

AMEC는 또한 다른 여러 로직 칩 제조 고객과 함께 현장 평가 의도에 도달했습니다. Primo SD-RIE는 실시간 조정 가능한 전극 간격 기능을 갖추고 있어 통합 다마스커스 에칭 공정에 필요한 동일한 에칭 공정에서 최적의 홈 및 스루홀 에칭 균일성을 달성하는 문제에 효과적으로 대응하고 통합 에칭 공정의 공정 창을 크게 확장합니다.

그림: AMEC의 Primo SD-RIE 제품

(2) 유도 플라즈마 에칭 장비(ICP): 유도 결합 플라즈마, 유도 결합 플라즈마 소스로 집적 회로 제조에서 단결정 실리콘, 다결정 실리콘 및 다양한 유전체 재료의 에칭에 적용됩니다. ICP 장비에는 6개의 단일 반응기와 3개의 이중 반응기 시스템이 있으며, Nanova 단일 기계 주문은 전년 대비 100% 이상 증가하여 시장 점유율이 빠르게 확장되었으며, 이중 기계도 생산 라인에 진입했으며, 500+ 반응기 온라인 생산.

2023년에는 AMEC의 ICP 에칭 장비가 로직, DRAM, 3DNAND, 전력 및 전력 관리, 마이크로 모터 시스템을 포괄하는 50개 이상의 고객사 칩 및 장치 생산 라인에서 양산될 예정입니다. ICP 에칭 장비의 Primo Nanova 시리즈는 지난 3년 동안 고객에게 설치된 캐비티 수에서 연평균 > 100%의 화합물 성장률을 달성했습니다.

그림: AMEC의 Primo Nanova 제품의 설치 용량

 

2023년에 AMEC는 종횡비가 더 높은 구조적 에칭을 위한 Nanova VE HP와 종횡비와 균일성을 모두 고려한 NanovaLUX의 두 가지 ICP 장치를 출시하여 ICP 에칭 장비의 검증 프로세스 범위를 크게 확장하고 첨단 로직 칩, 고급 DRAM 및 3DNAND에서 ICP 검증 에칭 공정의 적용 범위가 크게 개선될 것으로 예상됩니다.

 

그림: AMEC의 ICP 에칭 제품

Nanova VEHP는 DRAM의 고종횡비 폴리실리콘 마스크 적용에 대해 고객의 생산 라인에서 성공적으로 인증을 받았으며 일괄 주문을 받고 있습니다. NanovaLUX는 또한 인증을 위해 여러 고객의 생산 라인으로 배송되었습니다. PrimoTwin-Star는 국내외 고객을 위한 AR 및 VR 스마트 안경용 로직 칩, 전력 소자, 소형 발광 다이오드, MicrO-LED 및 메타렌즈 생산 라인에서 양산을 달성했으며 반복 주문을 받았습니다.

(3) 깊은 실리콘 에칭 장비: CMOS 이미지 센서, MEMS 칩, 2.5D 칩, 3D 칩 및 기타 관통 구멍 및 트렌치의 에칭에 적용됩니다. 고출력 이중 반응기 시스템을 갖추고 있으며 2.5D 및 3D 칩 처리 장비를 개발하고 유럽 MEMS 생산 라인의 양산에 진입하여 중국의 주류 장비가 되었습니다.

2. MOCVD 장비

MOCVD 장비: 청록색 및 자외선 LED 에피택셜 웨이퍼 및 전력 장치 생산에 사용됩니다. MOCVD 장비는 독립적으로 운영되는 4개의 반응기 시스템을 보유하고 있으며, 조명 및 첨단 디스플레이용 UniMax와 같은 3세대 장비와 심자외선 칩 생산을 위한 장비를 개발하여 국내외 GaN 기반 LED 시장을 지배하고 있습니다.

그림: AMEC의 MOCVD 제품, AMEC

2023년에도 청색조명용 PRISMO A7, 심자외선 LED용 PRISMO HiT3, 미니 LED 디스플레이용 PRISMO UniMax와 같은 제품은 계속해서 고객에게 서비스를 제공할 것입니다. 2023년 현재 AMEC는 국제 GaN 기반 MOCVD 장비 시장에서 선도적인 위치를 유지할 것입니다. 2021년 6월 공식 출시 이후 PRISMOUniMax 제품은 높은 수율, 높은 파장 균일성 및 높은 수율의 장점을 가지고 있으며 Mini-LED 디스플레이 에피택셜 웨이퍼 생산 장비 분야에서 국제 선도적 위치에 있습니다.

사진: AMEC의 PRISMO UniMax MOCVD 장치

3. 박막 증착 장비

박막 장비에는 LPCVD 장비와 ALD 장비가 포함됩니다. 고출력 이중 반응기 시스템이 있으며, 원자층 기상 증착 텅스텐 금속 장비는 3 차원 충전의 요구를 충족시키기 위해 개발되었으며, 표면 처리 기능을 갖춘 화학 기상 증착 금속 텅스텐 금속 장비는 높은 깊이와 넓은 충전의 요구를 충족시키기 위해 개발되었으며, 3D 메모리는 검증되었습니다.

사진: AMEC
의 박막 장비

LPCVD 장비: 저압 화학 기상 증착, 고급 로직, DRAM 및 3D NAND, 텅스텐 금속 와이어의 접촉 구멍을 채우는 데 사용됩니다.

ALD 장치:원자층 증착은 물질을 단일 원자막 형태로 기판 표면에 도금할 수 있는 방법입니다.

그림: LPCVD 장치는 AMEC에서 시장에 진입했습니다.

그림: LPCVD 장비는 AMEC의 이중 반응기 설계를 채택합니다.

4. 기타 장비

사진: AMEC의 VOC 장비

5. 성능

AMEC의 2023년 영업이익은 약 62.6,400만 위안으로 2022년 대비 약 15.24억 위안 증가하여 전년 동기 대비 약 32% 증가할 것으로 예상됩니다. 순이익은 17.86억 위안으로 전년 동기 대비 52% 증가했다. 2023년 회사의 R&D 투자액은 12억 6,200만 위안으로 전년 동기 대비 36% 증가하여 매출의 20%를 차지할 예정이다.

그림: 성능, AMEC

6. 자회사