인라인 측정 및 고급 공정 제어와 같은 다양한 옵션을 제공하여 모든 웨이퍼 표면 평탄화에 대해 탁월한 내부 및 웨이퍼 간 공정 안정성과 반복성을 제공합니다. 어플라이드의 profiler 및 titan contour™ 그라인딩 헤드와 같은 고급 연마 공정도 사용할 수 있으며1