728x90 반응형 SMALL 에칭되는 재료의 종류에 따라 드라이 에칭은 금속 에칭1 에칭(ETCH) 장비 및 장비 제조업체 たち ！！！ 에칭은 반도체 패터닝 공정의 핵심 공정으로 리소그래피 기계 및 박막 증착 장비와 함께 반도체 제조의 3대 핵심 장비로 알려져 있습니다. 전체 텍스트는 다음과 같이 나뉩니다. 1. 에칭 공정의 핵심 메커니즘2. 에칭 공정의 분류3. 에칭 장비 도입습식 에칭 장비(배치 습식 에칭 장비 및 모놀리식 습식 에칭 장비)드라이 에칭 장비 (ICP &CCP 에칭 장비 작동 원리)드라이 에칭 장비의 핵심 구성 요소드라이 에칭 장비의 작동 원리4. 에칭 장비 시장 소개5. 국내외 주요 제조업체 분석 1. 에칭 공정의 핵심 메커니즘 에칭: 포토레지스트의 패턴이 기능성 코팅으로 전달됩니다.에칭은 집적 회로에 필요한 3차원 미세 구조를 웨이퍼의 표면 기판 및 기능성 재료에 조각하고 마스크 패턴을 웨이퍼 표면으로 전달하는 물.. 2025. 3. 28. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
