리소그래피 기계 시장 : ASML ,Nikon, Canon 비교
리소그래피 기계는 칩 제조에서 가장 복잡하고 값비싼 장비입니다. 칩 제조에는 예비 산화, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상, 에칭, 이온 주입과 같은 여러 공정이 포함될 수 있습니다. 이 공정에는 산화로, 접착 및 현상 기계, 리소그래피 기계, 박막 증착 장비, 에칭 기계, 이온 주입기, 연마 장비, 세척 장비 및 테스트 장비를 포함한 다양한 장비가 필요합니다. 전체 반도체 칩 제조 공정에서 리소그래피는 가장 복잡한 공정이며, 리소그래피 공정 비용은 칩 제조 비용의 약 1/3을 차지하고, 시간 소비는 약 40-50%를 차지하며, 리소그래피 공정에 필요한 리소그래피 기계는 가장 비싼 반도체 장비입니다.리소그래피 기계는 프론트 엔드 리소그래피 기계와 백엔드 리소그래피 기계로 나눌 수 있습니다. 리소그래피 기계..
2025. 1. 23.
