네덜란드-ASML : 중국 DUV 판매 더 이상 공개되지 않기로 결정!

최근 네덜란드 정부는 ASML의 중국 내 DUV 리소그래피 기계 판매를 민감한 상품에 대한 수출 정보 공개 대상에서 제외하기로 결정했으며, ASML의 중국 내 심자외선 리소그래피 기계(DUV) 판매는 더 이상 대중에게 공개되지 않을 것입니다.

이 결정은 광범위한 우려를 불러일으켰는데, 네덜란드는 이전에 군사적 사용이 가능한 "이중 용도" 제품의 수출 상태를 정기적으로 발표하는 관행을 유지해 왔기 때문입니다.

 

앞서 네덜란드는 2023년 미국 정부의 압박으로 ASML의 심자외선 리소그래피(DUV)를 중심으로 군사적 의미가 있는 '이중용도' 상품 목록을 발표했는데, 이 제품을 수출하려면 면허를 신청해야 한다고 규정하고 있으며, 최첨단 극자외선 리소그래피기(EUV)는 항상 수출 허가를 받아야 한다.

 

ASML은 2018년부터 중국에 EUV 리소그래피 기계 판매를 중단했으며, 현재까지 중국 SMIC는 ASML로부터 EUV 리소그래피 기계를 단 한 대도 구매하지 않았다. 하이엔드에서 로우엔드까지 DUV 리소그래피 기계도 멈춰 있습니다.

 

그 후 한동안 중국의 칩 파운드리 사업은 28nm의 성숙한 공정에만 머물 수 있었고 14nm 및 10nm와 같은 고급 공정의 경우 일시 중지 버튼을 눌렀습니다.

 

그러나 이 "일시 중지"는 오래 가지 않았고 Huawei Kirin 칩(HiSilicon Kirin 칩이라고도 함)은 중국이 독자적으로 개발한 칩 시리즈 중 하나로, 세계가 중국이 만든 칩의 기적을 볼 수 있도록 했습니다.

 

최근 국내 리소그래피 기계 분야에서 중요한 돌파구가 열렸으며, 하얼빈 공과 대학은 공식적으로 13.5nm 극자외선 광원의 완성을 발표하여 세계가 고급 리소그래피 기계 분야에서 우리의 성과를 볼 수 있도록 했습니다., 이것은 여전히 완전한 EUV 리소그래피 기계에서 거리이지만,이 거리는 너무 길지 않을 것입니다.

 

이는 네덜란드 외무부에 의해 확인됐다고 로이터 통신은 전했다.

 

네덜란드 정부는 2023년 9월부터 ASML의 중국 내 매출 대부분을 공개하지 않을 예정이다. 이 정책은 이전에 보고된 적이 없습니다.

 

네덜란드가 이전에 군사적 용도가 있는 "이중 용도" 상품의 수출에 대한 정보를 공개했기 때문에 이러한 움직임이 주목을 받고 있으며, 이는 국가의 군사 능력을 이해하기 위해 데이터 공개에 의존해 온 전문가와 의회가 더 이상 전체 그림을 볼 수 없을 수 있음을 의미합니다.

 

DUV는 EUV보다 한 세대 뒤처졌지만 여전히 자동차, 휴대폰, 컴퓨터 및 로봇용 칩을 만드는 데 필요한 가장 일반적으로 사용되는 장치입니다.

 

보고서에 따르면, 네덜란드의 결정은 경제적, 군사적 이해관계와 관련되어 있는데, 그 이유는 ASML의 고객들이 구매하는 리소그래피 기계의 유형에 따라 그들이 제조할 수 있는 웨이퍼의 정밀도가 결정되기 때문이다.

 

네덜란드 외무부는 서면 답변에서 EU가 민감하다고 간주하는 상품(예: EUV)에 대한 라이선스 부여 공개는 새로운 목록에 있는 DUV에 적용되지 않지만 "이 정보의 (공개)는 특정 회사로 쉽게 추적되어 민감한 비즈니스 데이터가 노출될 수 있기 때문"이라고 밝혔습니다.

 

ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)은 특히 EUV(극자외선 리소그래피) 및 DUV(심자외선 리소그래피) 분야에서 세계 최고의 리소그래피 기계 제조업체입니다.

 

그 중 EUV 리소그래피기는 7nm 이하의 칩을 제조하기 위한 핵심 장비이며, DUV 리소그래피기는 65nm 이하의 칩을 제조하기 위한 중요한 장비입니다.

 

최근 몇 년 동안 중국 시장에서 ASML의 판매는 지속적으로 성장하고 있으며, 특히 중국 본토의 성숙한 프로세스 칩 용량 확장에 대한 적극적인 홍보의 맥락에서 ASML의 중국 판매는 실적의 중요한 버팀목이 되었습니다.