wlp 및 mems와 같은 까다로운 공정 응용 분야를 처리하기 위해 어플라이드의 mirra 시스템은 마랑고니 ™ 효과에 기반한 웨이퍼 건조 방법(빠르고 효율적이며 워터마크가 없음)이 있는 desica® 클리너로 구성할 수도 있습니다. 어플라이드의 mirra cmp 시리즈의 새로운 모델인 mirra durum™ 시스템은 탄화규소(sic)와 같은 더 단단한 기판 재료를 대상으로 설계되었습니다. mirra durum은 웨이퍼 건조/건조를 통합하고 세척1