728x90 반응형 SMALL efem1 반도체 장비 - EFEM 모듈 이란 ? EFEM: 장비 프런트 엔드 모듈. EFEM(Equipment Front-End Module)은 고청정 환경에서 정밀 로봇을 통해 단일 웨이퍼를 공정 및 검사 모듈로 전송하는 웨이퍼 프론트엔드 이송 시스템을 말합니다. SEMI의 소개: "FFU(Fan Filter Unit)를 탑재한 프레임에 대기 이송 웨이퍼 로봇을 탑재한 모듈 장비와 전면에 부하 포트가 부착되어 있습니다. 공정 장비 앞에 설치". EFEM(장비 프론트 엔드 모듈) 내부는 주로 화학 증기 필터, 에어 필터, 이오나이저, 웨이퍼 이송 로봇, 웨이퍼 정렬 장치, 웨이퍼 캐리어 박스, 자동화 제어 모듈 등으로 구성됩니다. 세 가지 핵심 구성 요소는 웨이퍼 로딩 시스템(Loadport), 웨이퍼 운반 로봇(로봇) 및 웨이퍼 얼라이너(웨이퍼 얼라.. 2025. 1. 13. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
