728x90 반응형 SMALL 티타늄 및 티타늄 질화물 라이너1 어플라이드 머티어리얼즈 (Applied Materials) - 4부 PVD (폴리프로필)PVD는 대상 물질을 스퍼터링하거나 증발시켜 금속 증기를 생성한 다음 웨이퍼 표면에 금속 증기를 응축시키는 과정입니다. PVD 기술 개발 분야에서 25년 이상의 경험을 쌓아온 어플라이드 머티어리얼즈는 이 분야에서 명실상부한 시장 리더입니다. PVD 증착 공정은 반도체 제조에서 다양한 로직 및 메모리 소자를 위한 초박형, 초고순도 금속 및 전이 금속 질화물 필름을 만드는 데 사용됩니다. 가장 일반적인 PVD 응용 분야는 알루미늄 플레이트 및 패드 금속화, 티타늄 및 티타늄 질화물 라이너, 배리어 층 증착 및 인터커넥트 금속화를 위한 구리 배리어 시드 증착입니다. PVD 박막 증착 공정에는 최상의 계면과 박막 품질을 달성하기 위해 PVD 증착 공정이 탈기 및 표면 전처리 기술과 통합된 고.. 2025. 1. 24. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
