728x90 반응형 SMALL 작은 온도 변화로 인해 제품 성능이 저하되거나 스크랩이 발생할 수 있습니다. 따라서 냉각기의 정밀한 온도 제어 기능은 웨이퍼 제조의 품질을 보장하는 핵심 요소 중 하나가 되었습니다. 냉각기는 팹의 광범위한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 예를 들어1 반도체 제조 - chiller (칠러:냉각기) 란 ? 반도체 제조 분야에서 냉각기는 없어서는 안될 장비입니다. 정밀한 온도 제어를 통해 웨이퍼 제조 공정의 모든 단계에서 안정적인 작동을 보장합니다. 리소그래피, 에칭 또는 박막 증착 등 어떤 것이든 냉각기는 그 뒤에서 중요한 역할을 합니다. 이 기사에서는 냉각기의 기본 개념, 작동 원리 및 웨이퍼 제조에 대한 적용이라는 세 가지 측면에서 이 중요한 장비를 이해할 수 있도록 안내합니다.기본 개념 및 응용 프로그램냉각기 또는 냉각기의 중국어 이름인 냉각기는 온도를 제어하는 데 사용되는 장치입니다. 반도체 제조에서 냉각기의 주요 역할은 냉각수 순환 시스템을 통해 장비 또는 공정에서 발생하는 열을 제거하여 안정적인 온도 환경을 유지하는 것입니다. 웨이퍼 제조는 온도에 대한 요구가 매우 까다로우며, 작은 온도 변화로.. 2025. 3. 5. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST