728x90 반응형 SMALL 입자 결함1 반도체 제조에서의 입자 결함 (Particle Defect) 반도체 기술의 발전으로 제조 공정의 품질 관리는 반도체 장치의 성능과 신뢰성을 향상시키는 데 핵심이 되었습니다. 입자 결함은 회로 단락 또는 개방 회로와 같은 결함을 유발하는 것과 같이 장치의 전기적 성능을 크게 저하시킬 뿐만 아니라 장치의 장기적인 신뢰성에 심각한 영향을 미쳐 장치 성능 저하 및 고장의 가능성을 높입니다. #01소개 반도체 제조 산업은 현대 전자 정보 기술 발전의 기둥이며 기술 혁신과 제품 품질은 전자 산업의 전반적인 추세를 직접 결정합니다. 마이크로 나노 기술의 급속한 발전으로 반도체 소자의 소형화 및 통합이 지속적으로 개선되고 있으며, 이는 제조 공정의 품질 관리에 새로운 과제를 제기합니다. 특히 입자 .. 2024. 11. 6. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
