에칭 공정의 핵심 메커니즘 에칭: 포토레지스트의 패턴이 기능성 코팅으로 전달됩니다. 에칭은 집적 회로에 필요한 3차원 미세 구조를 웨이퍼의 표면 기판 및 기능성 재료에 조각하고 마스크 패턴을 웨이퍼 표면으로 전달하는 물리적1