소형 및 복잡한 구조 응용 분야에 제한이 있으며 에칭 방향성의 한계가 점차 나타나고 있으며 점차 건식 에칭으로 대체되고 있습니다. 현재 응용 프로그램은 주로 드라이 에칭이며 시장의 90% 이상을 차지합니다. 습식 에칭은 주로 건식 에칭 후 잔류물을 청소하는 데 사용됩니다. 드라이 에칭 세분화: 드라이 에칭은 주로 플라즈마 에칭1