반도체 소자를 제조하는 과정에서 웨이퍼는 원하는 트랜지스터 구조를 만들기 위해 수백 번의 처리 단계를 거칩니다. 이 단계에서 엔지니어는 제조 주기가 끝날 때 수율을 얻을 수 있도록 공정이 제어되고 있는지 확인하기 위해 검사 및 계측 단계를 삽입해야 합니다. 검사 도구는 패터닝에서 예상치 못한 결함을 발견하는 반면1