728x90 반응형 SMALL 박막증착기술1 박막 증착 기술 소개---CVD(Chemical Vapor Deposition) 박막 증착 공정은 주로 물리적 기상 증착과 화학 기상 증착의 두 가지 범주로 나뉩니다. 반도체 재료의 성장을 수행하는 실무자에게는 PVD 또는 CVD 공정이 자주 사용되며, 이 기사에서는 화학 기상 증착(CVD) 기술을 소개합니다.CVD(Chemical Vapor Deposition)는 광범위한 절연 재료, 대부분의 금속 재료 및 금속 합금 재료를 포함한 광범위한 재료를 증착하기 위해 반도체 산업에서 가장 널리 사용되는 기술입니다. 이론적으로, 그것은 매우 간단합니다 : 두 개 이상의 기체 원료가 반응 챔버에 도입 된 다음 화학적으로 서로 반응하여 새로운 물질을 형성하여 웨이퍼 표면에 증착됩니다.화학기상증착은 박막을 제조하는 전통적인 기술이며, 그 원리는 기체 전구체 반응물을 사용하여 원자와 분자 간의.. 2024. 10. 30. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
