리소그래피 기계 시장 : ASML ,Nikon, Canon 비교
리소그래피 기계는 칩 제조에서 가장 복잡하고 값비싼 장비입니다. 칩 제조에는 예비 산화, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상, 에칭, 이온 주입과 같은 여러 공정이 포함될 수 있습니다. 이 공정에는 산화로, 접착 및 현상 기계, 리소그래피 기계, 박막 증착 장비, 에칭 기계, 이온 주입기, 연마 장비, 세척 장비 및 테스트 장비를 포함한 다양한 장비가 필요합니다. 전체 반도체 칩 제조 공정에서 리소그래피는 가장 복잡한 공정이며, 리소그래피 공정 비용은 칩 제조 비용의 약 1/3을 차지하고, 시간 소비는 약 40-50%를 차지하며, 리소그래피 공정에 필요한 리소그래피 기계는 가장 비싼 반도체 장비입니다.리소그래피 기계는 프론트 엔드 리소그래피 기계와 백엔드 리소그래피 기계로 나눌 수 있습니다. 리소그래피 기계..
2025. 1. 23.
단축키
내 블로그
내 블로그 - 관리자 홈 전환 |
Q
Q
|
새 글 쓰기 |
W
W
|
블로그 게시글
글 수정 (권한 있는 경우) |
E
E
|
댓글 영역으로 이동 |
C
C
|
모든 영역
이 페이지의 URL 복사 |
S
S
|
맨 위로 이동 |
T
T
|
티스토리 홈 이동 |
H
H
|
단축키 안내 |
Shift + /
⇧ + /
|
* 단축키는 한글/영문 대소문자로 이용 가능하며, 티스토리 기본 도메인에서만 동작합니다.