tsmc는 웨이퍼 앞에 물을 추가하고 물의 굴절 특성을 사용하여 빛의 파장을 줄여 해상도를 향상시키는 새로운 기술 아이디어를 내놓았습니다. tsmc가 제안한 침지 계획에 직면하여 nikon은 이를 채택하지 않고 154nm 광원 방향으로 계속 개발하기로 결정했습니다. 니콘은 154nm 파장 광원의 연구 개발에 많은 자원과 노력을 투자했기 때문이며1