ild 및 imd와 같은 애플리케이션을 처리합니다. 실리콘 카바이드(sic)는 고속 응용 분야를 위한 새로운 재료입니다. 그러나 투명성으로 인해 웨이퍼 처리가 특히 까다로워집니다. dxz cvd 시스템은 loadlock에 의한 웨이퍼 매핑에서 웨이퍼 배향 지우기1