1.35의 렌즈 조리개 및 26x33mm의 노출 영역을 갖춘 원형 변형 및 왜곡 보정을 특징으로 합니다. 현재 모델과 비교하여 전체적으로 10-15% 더 효율적이며 시간당 280개의 웨이퍼와 가동 중지 시간이 적어 니콘 리소그래피 장비의 새로운 최고치를 설정했습니다. 이 리소그래피 기계에 사용되는 광원 기술은 20 세기의 90 년대에 성숙 한 "i-line"이며1