웨이퍼 로봇 Arm 정확도 연구 및 3D
웨이퍼 핸들링 로봇 암은 반도체 제조에서 웨이퍼 이송에 널리 사용됩니다! 웨이퍼, 기판 및 칩을 리소그래피, 에칭, 증착, 검사 및 테스트와 같은 반도체 제조의 여러 단계 간에 운송하는 데 사용할 수 있습니다. 이 디자인은 매우 깨끗한 환경에서 정밀도, 청결성 및 신뢰성을 강조합니다. 다음은 로봇 팔의 구조에 대한 소개와 기술 응용 프로그램에 대한 개요입니다.1. 주요 구조상 분대:로봇 암(매니퓰레이터), 웨이퍼 엔드 이펙터(그리퍼), 웨이퍼 정렬 테이블, Z축 메커니즘, 감지 및 피드백 시스템, 제어 시스템2. 주요 응용 프로그램: 웨이퍼 전송: FOUP 및 공정 도구(예: 얼라인너, CMP, 에칭 기계)와 함께 사용하여 웨이퍼의 정확한 위치를 파악하고 입자 생성 또는 웨이퍼 가장자리 손상을 방지할 ..
2025. 5. 16.
