728x90 반응형 SMALL 마스크(mask)1 핵심 지식: 집적 회로 제조의 핵심 도구인 마스크(Mask) 1. 레티클이란 무엇입니까? 마스크라고도 하는 마스크는 집적 회로(IC) 제조 공정에서 설계된 회로 패턴을 웨이퍼 표면으로 정확하게 전달하는 데 사용되는 핵심 도구입니다. 리소그래피 기술의 기본 구성 요소인 마스크의 품질은 칩의 정확도, 성능 및 제조 비용을 직접적으로 결정합니다. 레티클은 본질적으로 웨이퍼의 포토레지스트가 경화되어 회로의 물리적 구조를 형성하는 방법을 안내하는 "프로젝터"의 템플릿입니다.간단히 말해서 포토마스크는 칩 설계와 물리적 제조 사이의 다리 역할을 합니다. 칩 설계자가 회로 패턴을 설계하면 리소그래피 기계에서 사용할 수 있도록 마이크로미터 또는 나노미터 수준의 정밀도로 레티클에 새겨집니다. 2. 마스크의 기본 구성 십자선은 일반적으로 다음 두 부분으로 구성됩니다.기판: 일반적으로.. 2024. 12. 7. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
