728x90 반응형 SMALL 리소그래피 공정에서 chiller는 tcu(temperature control unit)라고 하는 리소그래피 기계를 냉각하는 데 사용되며1 반도체 제조 - chiller (칠러:냉각기) 란 ? 반도체 제조 분야에서 냉각기는 없어서는 안될 장비입니다. 정밀한 온도 제어를 통해 웨이퍼 제조 공정의 모든 단계에서 안정적인 작동을 보장합니다. 리소그래피, 에칭 또는 박막 증착 등 어떤 것이든 냉각기는 그 뒤에서 중요한 역할을 합니다. 이 기사에서는 냉각기의 기본 개념, 작동 원리 및 웨이퍼 제조에 대한 적용이라는 세 가지 측면에서 이 중요한 장비를 이해할 수 있도록 안내합니다.기본 개념 및 응용 프로그램냉각기 또는 냉각기의 중국어 이름인 냉각기는 온도를 제어하는 데 사용되는 장치입니다. 반도체 제조에서 냉각기의 주요 역할은 냉각수 순환 시스템을 통해 장비 또는 공정에서 발생하는 열을 제거하여 안정적인 온도 환경을 유지하는 것입니다. 웨이퍼 제조는 온도에 대한 요구가 매우 까다로우며, 작은 온도 변화로.. 2025. 3. 5. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
