728x90 반응형 SMALL 노출 후 헹굼(헹굼 후)1 CLEAN TRACK - TEL LITHIUS PRO Z 리소그래피 기계는 모든 반도체 집적 회로 장비 중에서 가장 정교하고 복잡하며 비용이 많이 듭니다. 리소그래피 공정이 성공적으로 완료되기 위해서는 접착 현상 통합 레일 기계의 중요성도 밝혀집니다.20세기 초반인 70년대에 미국 캘리포니아의 코빌트(Cobilt)는 접착 현상 기계를 출시하기 시작했습니다.20세기 초반인 80년대까지 이 제품은 일본의 유통업체인 Tokyo Electron Limited(TEL)에 판매되었습니다. 올인원 기계를 만드는 또 다른 회사는 잘 알려진 실리콘 밸리 그룹(SVG)입니다.20세기 80년대에는 SVG8100(2~5인치 실리콘 웨이퍼), SVG8600(4~6인치 실리콘 웨이퍼), SVG8800(4~6인치 실리콘 웨이퍼), SVG90(4~8인치 실리콘 웨이퍼), ProCell(8.. 2025. 3. 13. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
