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미국 - EUV 리소그래피에 한판 승부 !!!

by shenminghu456 2024. 11. 4.
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미국 상무부는 IBM이 주요 파트너인 뉴욕주 혁신환경청(NY CREATES)의 올버니 나노테크놀로지 단지에 북미 지역의 첨단 반도체 연구, 개발 및 제조를 보장하는 핵심 시설인 NSTC EUV 액셀러레이터를 수용할 것이라고 발표했습니다.

 

컴퓨터 없이는 모든 산업, 모든 공급망, 모든 자동차, 심지어 학교도 제 기능을 할 수 없습니다. 반도체 칩은 현대 사회에서 컴퓨팅의 핵심입니다. 지난 수십 년 동안 반도체 제조 공급망은 점점 더 불균형하고 취약해졌습니다. 우리 모두는 팬데믹의 영향을 목격했습니다. 사용 가능한 반도체 칩이 부족하기 때문에 소비자는 노트북이나 자동차와 같은 제품을 구매할 수 없습니다. 반도체는 경제뿐만 아니라 미국 국가 안보에도 매우 중요합니다.

 

이것이 의회가 2022년 반도체 및 과학법(CHIPS and Science Act)을 통과시킨 주된 이유입니다. 이 법안의 목적은 미국이 교육 및 연구에 대한 투자를 통해 최첨단 칩 기술 개발 및 제조를 계속 선도하는 동시에 북미를 우리가 매일 의존하는 기기의 실제 제조 위치로 재배치하는 것입니다.

 

반도체법(CHIPS Act)은 미국의 첨단 반도체 공급망 재건을 담당하는 시설을 설립하기 위해 NSTC(National Semiconductor Technology Center)를 설립했습니다. 미국 상무부는 NSTC 컨소시엄을 관리하는 Natcast를 설립했습니다. Natcast는 먼저 첨단 반도체 기술과 균형 잡힌 공급망에서 미국의 리더십을 보장할 책임이 있는 여러 시설을 식별하는 작업에 착수했습니다.

 

반도체 공급망의 필수 구성 요소 중 하나는 극자외선(EUV) 리소그래피입니다. 수백 년 된 예술 기술을 바탕으로 한 이 기술은 특수 레이저 플라즈마에서 생성된 매우 짧은 파장의 빛을 사용하여 웨이퍼에 최대 몇 나노미터 크기의 장치를 인쇄합니다. IBM Research의 최근 혁신 중 많은 부분은 ASML의 EUV 기계와 아이디어에 생명을 불어넣는 장비, 재료 및 설계 회사의 에코시스템이 없었다면 불가능했을 것입니다. 10여 년 전, 최초의 EUV 생태계 중 하나가 올버니 나노테크놀로지 단지(Albany Nanotechnology Complex)에서 출범했습니다.

 

Natcast는 국가 EUV 센터 설립이 반도체 연구, 개발 및 제조 분야에서 미국의 리더십을 유지하는 데 매우 중요하다고 지적했습니다. 제안된 다른 센터로는 설계 및 관리 시설, 프로토타이핑 및 첨단 패키징 시설이 있으며, 이는 추후 발표될 예정입니다. 이들 3개 센터는 미국 내에 강력한 반도체 연구·개발·생산 파이프라인을 구축하게 된다.

 

오늘 Natcast는 새로운 NSTC EUV 가속기가 NY CREATES가 소유 및 운영하는 뉴욕 올버니의 나노기술 센터에 기반을 둘 것이라고 발표했습니다. IBM은 수십 년 동안 이 센터의 앵커 테넌트였으며, 나노시트 기술과 현재 제조 중인 세계 최소형 반도체 공정 기술인 2nm 노드의 발명을 포함하여 반도체 연구에서 IBM의 주요 돌파구 중 많은 부분이 연구소에서 이루어졌습니다.

 

 

10년 전 IBM이 세계 최초의 7nm 공정 기술을 발표했을 때, IBM은 이를 실현하기 위해 EUV 리소그래피가 필요하다고 말했습니다. 그 이후로 업계 표준이 되었으며 연구원들은 이제 다음 단계를 위해 노력하고 있습니다. 차세대 칩을 설계하고 제조하기 위해 ASML은 최근 웨이퍼에서 더 작은 칩을 생산하면서 고수율의 사용 가능한 칩을 제공할 수 있는 High NA(또는 Numerical Aperture) EUV라고 하는 차세대 EUV 기계를 출시하기 시작했습니다.

 

올버니 나노테크놀로지 센터(Albany Center for Nanotechnology)는 현재 북미 최초의 공공-민간 High NA EUV 기계가 될 High NA EUV 기계를 수용하기 위해 캠퍼스에 새로운 R&D 제조 시설을 건설하고 있습니다. 건설이 계속됨에 따라 IBM 연구원들은 이미 네덜란드에 있는 ASML 공장에서 기계를 연구하고 있으며 미래 칩 설계의 잠재력을 보여주는 돌파구를 마련했습니다.

 

Albany Nanotechnology Center는 약 150,000평방피트의 클린룸 공간을 보유하고 있으며, NY Creates는 부분적으로 높은 NA EUV 기계를 수용하기 위해 추가로 50,000평방피트의 공간을 건설할 계획을 가지고 있습니다. NSTC EUV Center의 계약을 통해 NY Creates는 Natcast와 함께 운영하는 데 약 3개월 밖에 걸리지 않을 것이며, 이로 인해 증가할 R&D 관심을 충족하기 위해 필요에 따라 향후 클린룸을 위한 더 많은 공간(최대 100,000평방피트)을 건설할 수 있다고 말합니다.

 

Natcast는 "NSTC EUV 허브는 NSTC 회원사들에게 EUV 기술에 대한 액세스를 제공하여 가장 까다로운 기능 크기 기술을 포함하여 더 광범위한 연구 및 상용화 경로를 촉진할 것입니다. "EUV 기술을 사용하는 것 외에도 이 센터는 Natcast 연구원과 직원, 회원 수혜자가 시설 내에서 연구를 수행하고 협업할 수 있는 적절한 공간을 제공할 것입니다."

 

이것은 허드슨 밸리 상류의 반도체 분야에서 일련의 돌파구와 협력 중 가장 최근의 것으로, IBM이 종종 선두에 있습니다. "20 년간, IBM와 Albany Nanotechnology 센터에 우리의 파트너는 번성하는 공중 사관 생태계를 창조하기 위하여 협력했습니다,"는 Arvind Krishna, IBM의 CEO를 말했습니다. "오늘날 올버니는 북미에서 가장 발전된 반도체 R&D 시설 중 하나를 보유하고 있으며 글로벌 반도체 리더가 되려는 미국의 사명을 지원할 수 있는 독보적인 위치에 있습니다.

 

미국 상무부는 올버니 EUV 시설 건설에 8억 2,500만 달러를 배정했습니다

 

오늘 미국 상무부와 NSTC(National Semiconductor Technology Center) 운영업체인 Natcast는 첫 번째 CHIPS for America R&D) 플래그십 시설의 예상 위치를 발표했습니다.

 

CHIPS for America Extreme Ultraviolet(EUV) 가속기는 NY CREATES Albany Nanotechnology Complex 내에서 운영될 것으로 예상되는 NSTC 시설(EUV 가속기)이며 약 8억 2,500만 달러의 연방 투자로 지원됩니다. EUV 액셀러레이터는 최첨단 EUV 기술과 이를 기반으로 한 R&D를 발전시키는 데 중점을 둘 것입니다.

 

바이든의 '미국에 대한 투자(Invest in America)' 어젠다의 중요한 부분인 '반도체 기업(CHIPS for America)'은 미국 반도체 공급망을 강화하고, 첨단 미국 R&D를 가속화하며, 미국 전역에서 양질의 일자리를 창출해야 할 필요성이 커짐에 따라 추진되고 있다. 제안된 시설은 NSTC 회원에게 기술, 역량 및 핵심 리소스를 제공함으로써 반도체 R&D 및 혁신을 가속화하기 위해 생태계 전반에 걸쳐 NSTC 회원을 한데 모을 것입니다.

 

지나 레이몬도(Gina Raimondo) 미국 상무부 장관은 "이 최초의 플래그십 시설을 통해 CHIPS for America는 국가기술위원회(National Technology Council)를 위한 최첨단 연구 및 도구에 대한 액세스를 제공한다"며 "이번 출범은 미국이 혁신 및 반도체 R&D 분야에서 글로벌 리더가 될 수 있도록 하는 중요한 이정표"라고 말했다. 반도체지원법(CHIPS and Science Act)의 R&D 부분은 장기적인 국가 안보에 매우 중요하며, 미국이 세계에서 가장 기술적으로 경쟁력 있는 국가가 될 수 있도록 보장합니다. 바이든 대통령과 해리스 부통령 덕분에 우리는 세계에서 가장 발전된 반도체를 생산했을 뿐만 아니라 스마트폰에서 첨단 인공지능에 이르기까지 모든 것을 지원하는 탄력적인 생태계를 구축하여 미국 국가 안보를 보호하고 향후 수십 년 동안 미국의 경쟁력을 유지할 수 있었습니다. ”

 

라엘 브레이너드 미 국가경제보좌관은 "바이든-해리스 행정부의 이번 8억2500만 달러 투자는 반도체 혁신 및 R&D 분야의 기업가, 연구자, 엔지니어를 위한 세계적 수준의 허브로서 올버니의 리더십 입지를 공고히 할 것"이라고 말했다. ”

 

EUV 리소그래피는 더 작고, 더 빠르고, 더 효율적인 마이크로칩을 만드는 데 필수적입니다. 반도체 산업이 무어의 법칙의 한계를 뛰어넘으면서 EUV 리소그래피는 이전에는 불가능했던 7nm 이상의 트랜지스터를 대량 생산할 수 있는 핵심 기술이 되었습니다. NSTC의 개발 역량 및 프로그램을 통해 EUV 리소그래피 R&D에 대한 접근은 1) 미국 기술 리더십 확대, 2) 프로토타이핑 시간 및 비용 절감, 3) 반도체 인력 생태계 구축 및 유지라는 세 가지 주요 목표를 달성하는 데 매우 중요합니다.

 

미국 상무부 국립표준기술연구소(National Institute of Standards and Technology) 소장 겸 로리 E. 로카시오(Laurie E. Locascio) 국장은 "효과적인 공공-민간 파트너십을 육성하는 데 있어 20년 동안 성공적인 경험을 쌓아왔으며 창립 이래 반도체 R&D, 제조 및 인력 개발에 250억 달러 이상을 투자한 NY CREATES는 연구를 가속화하고 상용화 시간을 단축할 수 있는 개방형 환경을 제공하려는 NSTC의 사명을 지원할 수 있는 독보적인 위치에 있다"고 말했다. 미국에서 지속 가능한 반도체 생태계를 개발하고 있습니다. ”

 

디어드레 핸포드(Deirdre Hanford) 냇캐스트 최고경영자(CEO)는 "CHIPS for America EUV 액셀러레이터는 미국 내 차세대 반도체 기술 개발 및 발전에 대한 우리의 약속을 보여준다. "NY CREATES와의 협력을 통해 Natcast와 NSTC 회원들은 광범위한 연구를 촉진하고 미래 기술의 상용화를 가속화하는 데 필요한 EUV 리소그래피 도구 및 프로세스에 액세스할 수 있습니다."

 

Natcast와 Albany 나노기술 단지를 운영하는 비영리 첨단 반도체 R&D 및 인력 개발 조직인 NY CREATES는 NSTC 회원사가 차세대 반도체 R&D 활동을 수행할 수 있도록 EUV 가속기를 설립할 것으로 기대하고 있습니다. 2025년에 가동될 EUV 액셀러레이터를 통해 Natcast, NY CREATE 및 NSTC 회원사는 혁신적인 반도체 기술의 상용화를 가속화하고 미국 기술 리더십을 강화하는 데 중요한 R&D 활동에 협력할 수 있습니다. EUV 액셀러레이터의 주요 기능은 다음과 같을 것으로 예상됩니다.

 

1. 최첨단 EUV 리소그래피 도구와 고개구수(NA) EUV 시스템을 포함한 차세대 R&D 역량을 활용하여 2025년까지 표준 NA EUV, 2026년까지 높은 NA EUV를 달성할 것으로 예상됩니다.

2. 기술 혁신을 주도하기 위해 산업계, 학계 및 정부 파트너와의 협력을 소집하고 촉진합니다.

3. 전담 NSTC 현장 사무소는 Natcast 및 NSTC 회원 연구원을 지원합니다.

4. 인재 팀을 제공, 교육 및 개발하기 위한 지원 계획.

5. NSTC 구성원의 수와 참여를 늘리기 위해 노력하는 한편, 개방적이고 협력적인 R&D 환경을 조성하기 위해 모든 NSTC 시설과 협력한다.

 

National Technology Center Prototype 및 NAPMP(National Advanced Packaging Manufacturing Program) Advanced Packaging Pilot Facility와 National Technology Center Administration and Design Facility는 아직 건설되지 않은 상태로 남아 있습니다. 국무부와 Natcast는 앞으로 몇 달 안에 제휴 기술 센터 선정 과정에 대한 정보를 발표할 예정이다.

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