728x90 반응형 SMALL 수율 및 안전성에 대한 기본적인 보증을 제공합니다.1 반도체 FAB SUB (보조) 장비 소개 (vacuum pump/scrubber…) 반도체 제조 공장(Fab)은 매우 복잡하고 정교한 생산 환경으로, 그 핵심에는 리소그래피 기계 및 에칭 기계와 같은 공정 기계가 포함될 뿐만 아니라 일련의 주요 보조 장비의 조정된 작동에 의존합니다.이러한 장치는 칩 패터닝 또는 재료 가공에 직접 참여하지는 않지만 제조 공정의 안정성, 수율 및 안전성에 대한 기본적인 보증을 제공합니다.1. 진공 펌프1. 기능 및 기능진공펌프는 Fab에서 없어서는 안될 장비로 주로 공정 챔버에서 진공 환경을 구축하고 유지하는 데 사용됩니다.예를 들어, 화학 기상 증착(CVD) 또는 물리 기상 증착(PVD) 공정에서 진공 환경은 기체 불순물이 반응을 방해하는 것을 방지하고 막 균질성을 보장합니다.또한 진공 펌프는 오염 확산을 방지하기 위해 에칭 또는 세척 과정에서 발생하는 .. 2025. 5. 16. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
