Track(트랙) 중 - 냉각판(Chilling) 및 열판(Oven)

1. 트랙의 냉간 및 열판냉각판의 기능은 주로 공정에서 웨이퍼를 냉각시키는 것입니다. 열판은 많은 일을 가지고 있고, 안정되어 있는 감광저항 필름을 형성하는 증발 용매가 있습니다; 향상된 광산 반응이 있습니다. 경화 된 포토 레지스트가 있습니다. Track에는 많은 유형의 핫 플레이트가 있으며 아래 표와 같이 이름이 어지럽습니다!

그러나 모든 것이 종이 호랑이입니다, 편집자의 말을 천천히 들어보세요, 이 세 문장에서 벗어날 수 없습니다! (세심한 경험)먼저 열판 다음에 냉각판이 와야 합니다.두 번째 문장에는 접착 후(softbake), 노출 후(노출 후 bake), 현상 후(hardbake)의 세 곳이 있습니다.세 번째 문장에서 같은 종류의 열판과 냉판을 구별하는 것은 냉각 속도, 냉각 방법 및 온도 정확도에 지나지 않습니다. 냉각 속도는 온도 상승 및 하강 속도에 반영되고, 냉각 방법은 접촉 베이킹 또는 비접촉 베이킹에 반영되며, 냉각 정확도는 다른 온도 설정 범위에 반영되며, 온도는 전체 웨이퍼 범위 내에 있습니다.당신이 내부자라면 이 세 문장이 확실히 당신에게 반향을 일으키고 독자들이 그것을 전달할 수밖에 없게 만들 것입니다!!둘째, 핫 플레이트가 자세히 설명되어 있습니다.

3. 열판 배관 시스템

 

넷째, 핫 플레이트의 주요 구조

팁 : Xiaobian은 주로 그림과 텍스트의 동기화를 고려하여 모든 사람이 쉽게 볼 수 있고 그림의 텍스트를 함께 넣기 때문에 상대적으로 작지만 그림의 텍스트를주의 깊게 보는 것이 좋습니다!5. 열판의 분류이제 TEL은 여전히 주류 기계이므로 TEL 명명 방법이 분류를 위해 인용되고 있으며, 사실 분류에 대해 이전 기사 "핫 플레이트가 벗어날 수없는 세 문장"의 편집자, 간단한 문장, 즉 소개 (그러나 기본 논리)입니다.

(TEL, AGC 인터랙티브 인터페이스, 마크 레드는 특정 핫 플레이트)다음 표는 핫 플레이트의 유형과 이름, 그리고 프로세스가 중요한지 여부에 대한 분석을 제공합니다. 이 글을 쓰는 것은 이 내용이 매우 전문적이라고 생각하며, 세 가지 질문은 확실히 특정 독자의 마스터를 이길 것입니다! 요점으로 돌아가서 독자와 친구의 또 다른 골칫거리는 이러한 약어의 이름일 수 있으며 편집기는 오랫동안 준비해 왔으며 이전 기사의 EXCEL 스크린 샷을 참조하십시오.